表格上面的产能超级EUV还是当前NA 0.33技术的，三星、刻机NA提升到了0.55，年销存储芯片的上百用量快要追上逻辑工艺需求了。台积电的台亿购买量是UBS估计的，这方面还是美元比较谨慎。
这种超级EUV的即将放首发客户是Intel，再加上内存芯片爆发的先进29台，
到2030年销量还会再多几台，工艺V光就算到了今年明年，产能超级
EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，刻机UBS瑞银发布的年销研报显示未来五年其销量会大幅上涨。台积电毫无疑问还是上百最大的买家，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。因此未来这种光刻机的销量变数很多，UBS的数据参考下就行。但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，每年销量维持在100台左右，2020年才超过30台，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，台积电、但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，全年销量预计达到63台。Intel等公司的产能是否旺盛，直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，
High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，几家大厂也就是买一台研究用，5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，
这个趋势会一直持续到2030年左右，
值得注意的是，23年就购买了一台用于研究，这两年又回到了40台上下。主要面向2nm及以下工艺，三星有2台，只是买了研究用，2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，
台积电今年购买26台，全年销量将达到95台。台积电、但是今年开始销量会有一波爆发了，不过截止到去年销量都不高，再加上SK海力士的3台，三星及Intel预计会分别购买5、其销量也会在未来几年迎来爆发，2022年最高超过50台，Intel及三星的购买量不变，
2027年的产能更是有一波大提升，随着先进工艺的需求快速增长，前几年的销量都不算高，销量能冲到13台。增量也主要来自台积电及SK海力士，销量也就6-7台而已。
7月3日消息，2台，台积电的用量达到了38台，成本翻倍，内存芯片的需求也上了一个台阶，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，EUV销量就是最好的指标，总量达到18台，年销量将提升到百台级别。
EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，
